Exakte magnetische Analyse und Vermessung von Magnetrons und einstellbaren Magnetbars aus Rohrkathoden, wie sie in Sputteranlagen zur Floatglas-Beschichtung und in der Solarindustrie eingesetzt werden.
Produktbeschreibung
m-cat ist ein Magnetfeldmapper für Magnetrons, der die magnetischen Streufeldaten von Magnetrons in allen 3 Raumachsen vermisst und zusätzlich auch Geometriedaten ermittelt. Dadurch können Sputterprozesse überwacht und optimiert werden, da die Einstellung bzw. der Zustand des Magnetrons entscheidend für das spätere Ergebnis des Beschichtungsprozesses ist.
Mit dem Einsatz von m-cat erhöhen Sie:
- die Prozesssicherheit, da neue Magnetrons einer Eingangskontrolle unterzogen werden können und defekte Magnetrons früher und sicher erkannt werden.
- die Schichtdickenhomogenität, da justierbare Magnetrons kontrolliert eingestellt werden, bzw. passende Magnetrons einfacher kombiniert werden können.
- die Lebenszeit von Targets, da ein Durchsputtern der kostenintensiven Targets vermieden werden kann.
Aufbau & Funktionsweise
Sputtern auf Glas oder Silizium ist mit hohen Qualitätsansprüchen verbunden, da bereits geringe Schwankungen der Dicke abgeschiedener Schichten einen erheblichen Einfluss auf die Eigenschaften der Schichtsysteme haben können. Bei Floatglas, dass für den Einsatz im Fenster- und Fassadenbau vorgesehen ist, ändern sich u. U. Farbe und Transmissionseigenschaften. Bei Gläsern, die eine Basis für die Solarzellenherstellung bilden, führen Schichtdickenschwankungen zu Ungleichmäßigkeiten der elektrischen Eigenschaften.
Die Schichteigenschaften lassen sich unter anderem durch den Partialdruck des Sputter-Gases oder das Magnetfeld beeinflussen, wobei die Änderung der Gaszusammensetzung neben der Schichtdicke immer die Schichtzusammensetzung beeinflusst. Daher kommt einzig die Kontrolle und Justierung des Magnetfeldes für die exakte Korrektur der Schichtdicke in Frage!
Das System m-cat hilft, die magnetische Komponente in Sputteranlagen in den Griff zu bekommen, indem Magnetrons präzise charakterisiert werden. Neben der exakten Vermessung und Analyse der Magnetfeldkonfiguration bietet das m-cat System Hilfestellung bei justierbaren Magnetrons, unabhängig vom Hersteller. Darüber hinaus erfolgt die Ermittlung der Geometrie des Magnetrons (Durchbiegung) für die Sicherstellung eines störungsarmen Betriebes.
Produktanfrage
Produkt-Highlights
- Erfassung der vollständigen Magnetfeldkontur
- Implementierung des Systems in einen bereits vorhandenen Herstellungsprozess möglich
- Trimmhilfe-Funktion für trimmbare Magnetrons
- Hohe Benutzerfreundlichkeit
Vorteile
- Flexibel einsetzbar für verschiedene Magnetron Hersteller
- Extrem schnelle Messung (nur wenige Sekunden pro Messung)
- Gesamte Messlänge von 0,4 m bis 5 m stufenlos einstellbar (dadurch Vermessung verschieden langer Magnetrons mit einer Messmaschine möglich)
Anwendungsgebiete
- Flachglasherstellung
- Flachglasbeschichtung
- PV-Modul Herstellung
- Displayherstellung
Technische Daten
- Graphische Darstellung des Feldverlaufs
- Erfassung der minimalen und maximalen Magnetfeldstärke
- Speicherung und Exportfunktion einzelner Messreihen im CSV-Format
- Target Parameter (Durchmesser, Durchbiegung) erfassbar
- Trimmhilfe-Funktion für trimmbare Magnetrons
- Messlänge von 0,4 m – 5,0 m
- Magnetfeldkonfiguration: 33 Kanäle (X, Y, Z) +/- 1%
- Geometrie des Magnetrons (Lage des magnetischen Funktionsteils): +/- 0,1 mm
- Geometrie des Targets (Durchmesser, Durchbiegung): +/- 0,1 mm
- Laserkontrolleinheit zur Prüfung der Ebenheit der Messanlage integriert
- Software mit Lebenszyklus Management, diversen Ansichten und Einstellmöglichkeiten